Лаборатория вакуумных технологий (товарный знак Beams&Plasmas) разрабатывает и производит вакуумное технологическое оборудование для научных исследований и различных отраслей промышленности: микроэлектроника, машиностроение, космические технологии. Основными видами выпускаемых устройств являются: - магнетронные распылительные системы (МРС, магнетроны), специализированные под напыление различных материалов, а также сверхскоростные напылительные магнетроны, обеспечивающие скорость осаждения металлов до 40 мкм/мин; - ионные источники с холодным катодом, обеспечивающие линейную плотность тока до 25 мА/см длины рабочей зоны; - электронные пушки с блоками питания и управления электронным лучом, мощностью от 50 до 500 кВт, предназначенные для решения задач вакуумного напыления и электронно-лучевой плавки металлов; - высокочастотные генераторы плазмы, которые обеспечивают создание плотной низкотемпературной плазмы, являющейся универсальной технологической средой. Мы выпускаем 3 серии напылительных и плазмохимических установок восьми различных модификаций (ИН, ТН, РС, ПС, МО/МТ, ПХО, ПХТ). Основное отличие установок Ника - интуитивно понятный интерфейс, высокие эксплуатационные характеристики и надежность. Выпускаемая продукция предназначена для реализации задач: - ионно-плазменная обработка поверхности; - азотирование и карбонитрирование; - ионное ассистирование; - осаждение материалов в ионизованном состоянии (Ionized Vapour Deposition); - плазмохимическое травление и осаждение.